清大動機系

XY壓電驅動平台、Servos驅動系統、雷射都卜勒測振儀、光學隔振桌、三次元光學干涉儀、奈米壓痕/薄膜硬度測試、掃描式電子顯微鏡、場發式電子顯微鏡、拉力試驗機、振盪器、旋轉台、拉曼/光激分光光譜儀、微系統測試機、光學干涉儀、原子力顯微鏡、共軛焦顯微鏡、XY壓電驅動平台、Servos驅動系統、真空高頻測試系統